潔凈室是指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行管控的密閉性較好的空間。由于精密機(jī)械工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)等對(duì)環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。

相對(duì)濕度是衡量潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的條件參數(shù)之一。實(shí)際上，一些應(yīng)用指定的偏差僅為1％RH，這是由于從物理/化學(xué)觀點(diǎn)上相對(duì)濕度對(duì)材料加工和存儲(chǔ)上的影響。

和其他污染（霉菌，，，螨蟲）在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍繁殖，甚至有一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。將潔凈室的相對(duì)濕度管控在40%至60%的范圍之間，地管控和其他的增長(zhǎng)，降低其帶來的影響。

除了各種微的生長(zhǎng)，溫濕度的管控在一定程度上可以防止各種化學(xué)反應(yīng)或改變反應(yīng)速度，譬如腐蝕，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹，相反，有些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)性的氧化物，但并不是好事，因?yàn)橛锌赡茏柚惯M(jìn)一步的氧化反應(yīng)，影響效率。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、前列技術(shù)密切聯(lián)系在一起。濕度的管控也不是越低越好。當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，靜電荷可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。較低的濕度容易造成電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散。高濕度實(shí)際上減小了靜電荷積累，這是人們希望的結(jié)果。

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及上的不快。